前言<br>第1章概论<br>1.1真空及真空获得设备<br>1.2大气压力<br>1.3真空度<br>1.4真空区域划分<br>1.5真空应用<br>第2章泵与真空泵<br>2.1泵的含义<br>2.2泵的分类<br>2.2.1基于泵的主轴方向不同的分类<br>2.2.2基于泵的吸口数目不同的分类<br>2.2.3基于泵的工作原理不同的分类<br>2.3真空泵<br>2.3.1真空泵的主要性能参数<br>2.3.2真空泵的名称与代号<br>2.3.3真空泵型号组成<br>2.3.4真空泵的分类<br>2.3.5真空泵的工作压力范围<br>习题<br>第3章罗茨真空泵<br>3.1罗茨真空泵的种类<br>3.2罗茨真空泵的转子形状<br>3.3罗茨真空泵的工作原理<br>3.4罗茨真空泵的结构特点<br>3.5罗茨真空泵的基本参数确定<br>3.5.1几何抽速<br>3.5.2实际抽速<br>3.5.3有效抽气量<br>3.5.4零流量时压缩比<br>3.5.5有效压缩比<br>3.5.6功率<br>3.6罗茨真空泵设计案例<br>3.6.1转子型线计算<br>3.6.2转子型线绘制<br>3.6.3抽速验证<br>习题<br>真空获得设备及应用<br>目录<br>第4章螺杆真空泵<br>4.1螺杆真空泵的种类<br>4.1.1基于螺杆数量不同的分类<br>4.1.2基于螺杆头数不同的分类<br>4.1.3基于气体压缩方式不同的分类<br>4.2螺杆真空泵的工作原理<br>4.2.1吸气过程<br>4.2.2压缩过程<br>4.2.3排气过程<br>4.3螺杆转子端面型线<br>4.3.1单头梯形型线<br>4.3.2矩形型线<br>4.3.3螺杆转子三维模型建模案例<br>4.4螺杆真空泵的基本参数确定<br>4.4.1螺杆长度、螺纹升角与导程<br>4.4.2面积利用系数<br>4.4.3吸气容积与几何抽速<br>习题<br>第5章液环真空泵<br>5.1液环真空泵的种类<br>5.2液环真空泵的工作原理<br>5.3液环真空泵的基本参数确定<br>5.3.1抽气速率<br>5.3.2极限压力<br>5.3.3轴功率和效率<br>习题<br>第6章旋片真空泵<br>6.1旋片真空泵的种类<br>6.2旋片真空泵的工作原理<br>6.3旋片真空泵的结构特点<br>6.4旋片真空泵的基本参数确定<br>6.4.1极限压力<br>6.4.2抽气速率<br>6.4.3功率<br>6.5单级旋片真空泵设计案例<br>6.5.1基本参数的选取<br>6.5.2主要几何尺寸的计算<br>习题<br>第7章滑阀真空泵<br>7.1滑阀真空泵的工作原理<br>7.2滑阀真空泵的结构特点<br>7.3滑阀真空泵的基本参数和主要尺寸确定<br>习题<br>第8章低温真空泵<br>8.1低温真空泵的种类<br>8.2低温真空泵的工作原理<br>8.3低温真空泵的结构特点<br>8.4低温真空泵的基本参数确定<br>8.4.1极限压力<br>8.4.2抽速<br>8.4.3排气量<br>8.4.4制冷时间、功率及温度<br>习题<br>第9章分子真空泵<br>9.1分子真空泵的种类<br>9.1.1基于转子结构特征的分类<br>9.1.2基于轴承特性不同的分类<br>9.2分子真空泵的工作原理<br>9.2.1牵引分子真空泵的工作原理<br>9.2.2涡轮分子真空泵的工作原理<br>9.3涡轮分子真空泵的结构特点<br>习题<br>第10章真空系统<br>10.1真空室<br>10.2真空测量<br>10.3真空阀门<br>10.4真空机组<br>10.4.1低真空机组<br>10.4.2中真空机组<br>10.4.3高真空机组<br>10.4.4超高真空机组<br>10.5真空系统性能实验装置<br>10.5.1容积式真空泵标准测试台<br>10.5.2真空泵（机组）性能研究实验台<br>10.6真空系统的抽气时间<br>10.6.1粗真空、低真空下的抽气时间<br>10.6.2高真空下的抽气时间<br>10.6.3真空室压力下降时的抽气时间<br>10.7选泵与配泵<br>习题<br>第11章真空设备<br>11.1真空干燥设备<br>11.2真空镀膜设备<br>11.3真空包装设备<br>11.4真空输送设备<br>11.5真空过滤设备<br>11.6真空绝热设备<br>11.7真空热处理设备<br>参考文献