1 类金刚石薄膜简介
1.1 引言
1.2 类金刚石薄膜的发展史
1.3 类金刚石薄膜的组成
1.4 类金刚石薄膜的分类
1.5 类金刚石薄膜的结构模型
1.6 类金刚石薄膜的性质
1.7 类金刚石薄膜的生长机理
1.8 类金刚石薄膜的应用
1.9 类金刚石薄膜的主要制备方法
1.10 类金刚石薄膜在应用中存在的问题及解决方法
2 实验制备类金刚石薄膜的方法、设备与测试方法
2.1 中频脉冲非平衡磁控溅射
2.2 实验装置
2.3 分析方法
3 一种拉曼光谱分析类金刚石薄膜中sp3含量的新标准
3.1 一种拉曼光谱分析DLC薄膜中sp3含量的新标准的提出
3.2 小结
4 无氢的类金刚石（a-C）薄膜的结构与性能
4.1 基体偏压对a-C薄膜结构与性能的影响
4.2 梯度偏压对a-C薄膜结构与性能的影响
4.3 基体温度对a-C薄膜结构与性能的影响
4.4 中频电流对a-C薄膜结构与性能的影响
4.5 靶-基距对a-C薄膜结构与性能的影响
5 含氢的类金刚石（a-C:H）薄膜的结构与性能
5.1 碳源气体对a-C:H薄膜结构和性能的影响
5.2 沉积气压对a-C:H薄膜结构与性能的影响
5.3 进气比例对a-C:H薄膜结构与性能的影响
6 GexC1-x/DLC薄膜系的增透效果、砂尘冲刷和淋雨实验
6.1 Ge和ZnSe基体上涂覆GexC1-x/DLC薄膜系前后透过率的变化
6.2 GexC1-x/DLC薄膜系的砂尘冲刷实验
6.3 GexC1-x/DLC薄膜系的淋雨实验
6.4 小结
7 总结
参考文献