本书是在编者2009年主编的《微电子制造工艺技术》（西安电子科技大学出版社出版）一书基础上，结合十数年高职微电子制造工艺教学一线经验编写而成的。全书以硅基集成电路平面工艺为主线，适当兼顾其他工艺方法，内容侧重于集成电路制造工艺技术介绍。为方便半导体业界以外人士阅读，本书内容还加入了一些半导体材料基础知识，以及半导体工业方面的内容。本书可使读者在较短时间内对集成电路制造工艺有较为完整的概念，同时可以深入了解集成电路技术的特点并掌握集成电路制造工艺技术，同时了解集成电路工艺技术发展的趋势。