第一章 绪论
第一节 技术现状
一、国内现状
二、国外现状
第二节 研究意义
第三节 研究内容
一、技术路线
二、内容结构
第四节 本章小结
第二章 研磨工艺及废液物性
第一节 LED衬底研磨材料
一、蓝宝石衬底
二、碳化硼磨料
第二节 衬底研磨工艺
一、衬底加工流程
二、衬底研磨机理
三、衬底研磨方法
第三节 研磨废液料物性
一、F240-W研究
二、F240-WL研究
三、F240-WS研究
第四节 本章小结
第三章 基于AHP法碳化硼回收方法的优选
第一节 研磨废液中碳化硼分离方法分析
一、常规过滤法
二、离心分离法
三、重力沉降法
四、振动筛分法
第二节 AHP法理论工具
一、AHP法简介
二、AHP法决策步骤
第三节 AHP法建模与计算
一、四种分离方法的AHP建模
二、四种分离方法优选的计算
三、四种分离方法的优选结论
第四节 本章小结
第四章 碳化硼循环再利用设备结构设计
第一节 设备结构的初步设计
一、整体设计
二、回收模块
三、辅助模块
四、初步方案讨论
第二节 基于TRIZ理论的方案优化
一、TRIZ理论工具
二、TRIZ“九屏幕法”优化设计思路
三、“SAFC分析模型”确定最终方案
第三节 基于最终方案的设备结构设计
一、设备主体结构
二、搅拌清洗模块
三、振动筛分模块
四、设备外部结构
第四节 本章小结
第五章 碳化硼循环再利用设备样机制作与应用
第一节 样机硬件结构研制
一、样机主要零部件
二、样机部件的组装
第二节 样机软件系统开发
一、PLC控制程序
二、触摸屏显示
三、电路控制系统
第三节 样机应用与检测
一、样机调试应用
二、回收效果检测
三、回收率的测定
第四节 研磨液自动配比系统
一、m-V配比算法
二、系统结构方案
三、方案应用举例
第五节 本章小结
第六章 结论与展望
参考文献