第一篇 低温低气压反应性气体放电
第1章 低温低压等离子体物理基础
1.1 低温等离子体物理简介
1.2 低温等离子体源
1.3 低温等离子体放电的研究方法
1.4 本章小结
第2章 射频SiH4放电（一维模拟）
2.1 SiH4气体研究背景
2.2 硅烷等离子体放电特性
2.3 纳米颗粒特性
2.4 模拟结果与讨论
2.5 本章小结
第3章 甚高频SiH4、SiH4/H2放电（二维模拟）
3.1 引言
3.2 二维模型描述
3.3 模拟结果与讨论
3.4 本章小结
第4章 SiH4/NH3/N2放电
4.1 引言
4.2 低频脉冲SiH4/NH2/N2放电
4.3 双频SiH4/NH3/N2放电
4.4 本章小结
第二篇 低温大气压反应性气体放电
第5章 低温大气压等离子体物理基础
5.1 大气压等离子体物理简介
5.2 大气压气体放电形式
5.3 大气压等离子体放电的研究方法
5.4 本章小结
第6章 大气压乙炔微等离子体放电
6.1 引言
6.2 模型描述
6.3 模拟结果与讨论
6.4 本章小结
第7章 乙炔微放电中模式转换现象
7.1 引言
7.2 模型描述
7.3 模拟结果与讨论
7.4 本章小结
结论
参考文献