桂林：中国科学院理化技术研究所百人计划特聘研究员，兼任中国科学院大学教授。在微流控芯片技术、液态金属在微流控芯片中的应用、微传感器、微流体器械及植入式微器械等领域做了大量工作，取得了很多重要成果，相关科研论文发表于多家国际知名刊物，并为多家学术刊物评审人。目前致力于扩展液态技术微流控技术在植入式医疗方面的应用。高猛：北京大学信息技术高等研究院植入式微纳集成系统实验室主任、研究员。主要从事微流控、微纳执行器、微纳传感器技术，以及医疗用微纳系统集成、封装与制造技术研究。发表SCI收录论文10余篇，申请发明专利30余项，参与国家重点研发计划、国家自然基金等项目10余项。叶子：中科院理化所进行博士后，任特别研究助理，进行微流控方向研究，主要包括微泵、微阀及微传感器的设计、制作与应用。李雷：中国科学院理化技术研究所，副研究员，主要从事微流控芯片技术的研究，原创性地提出了一系列基于微流控芯片的新平台和新技术，并将其应用于生物学和医学领域。研究成果涉及微流控芯片的多个分支方向。以第一或通讯作者在多家国际知名期刊发表多篇学术论文，承担多项国家J科研项目。目前着重于生物微流体技术与液态金属材料、微纳加工技术、微生物学、组织工程学的结合，通过多学科的交叉融合碰撞出新的火花。

第1 章 概论 ………………………………………………………………… 1

1.1引言 ………………………………………………………… 1 

1.2微流体………………………………………………………… 1 

1.3常温液态金属……………………………………………………9

参考文献………………………………………………………… 15

第 2 章 液态金属微流体芯片及其电极制作技术 ………17

2.1 引言 ………………………………………………………17 

2.2 液态金属微流控芯片制作技术 ……………………………………… 17 

2.3 液态金属微电极制作技术……………………………………………… 22 

2.4 液态金属电极稳定性探讨……………………………………28 

2.5 液态金属柔性微加热器高温断裂机理探究……………………………………30

参考文献………………………………………………………………… 36

第 3 章 液态金属微流体温度测量 ……………

3.1 引言…...……………………………………… 40 

3.2 热电偶测温 …………………………………………………… 40 

3.3 薄膜热电阻测温 ………………………………………………… 42 

3.4 布朗运动测温 ………………………….………………… 43 

3. 5 红外测温 …………………………………………………………………… 43 

3.6 热敏荧光测温 ………………………………………………… 43

3.7 热色液晶测温 ………………………………………………… 44 

3. 8 核磁、拉曼光谱测温……………………………………………………… 44

3.9 激光界面测温 ……………………………………………………………… 45 

3.10 超声波测温 ……………………………………………………………… 45 

3.11 液态金属微流体测温技术 ………………………………………………………………46

参考文献…………………………………64

第 4章 液态金属微流体压力传感器 …………………………………67

4.1 引言 ………………………………………………………………… 67 

4.2 基于液态金属的用于常规空间的压力传感器…………………………… 68 

4.3 基于液态金属的用于微小空间的压力传感器………………………… 97

参考文献 ..…………………………………………………………… 133

第 5 章 液态金属微流体容性流体检测 …………………………………… 138

5.1 引言….……………………………………………………………………… 138 

5.2 双侧布置式液态金属容性流体检测 ………………………………………… 139 

5.3 共面布置式液态金属容性流体检测 ……………………………………148

参考文献 …………………………………………………………………………………179

第6章液态金属电渗流微泵 …………………………………………… 181 

6.1 引言……………………………………………………………………………… 181 

6.2 液态金属微电极电渗流微泵结构及原理 ………………………………… 182 

6.3 液态金属微电极结构形式及布置方式的数值优化设计 …………… 186 

6.4 液态金属微电极电渗流微泵驱动性能的实验测试…………………… 191 

6.5 液态金属微电极电渗流微泵驱动性能的测试结果……………………… 193 

6.6 液态金属电渗流微泵的扩展方法………………………………………………… 197 

6.7 液态金属电渗流微泵的横向扩展……………………………………………… 200 

6.8 液态金属电渗流微泵的纵向扩展……………………………………… 203 

6.9 液态金属电渗流微泵展望………………………………………………… 204

参考文献……………………………………………………………………… 205

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