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超大规模集成电路——基础.设计.制造工艺
￥0.00     定价 ￥ 49.00
泸西县图书馆
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  • ISBN：
    9787030202789
  • 作      者：
    [日]岩田，穆，角南英夫，，彭军
  • 出 版 社 ：
    科学出版社
  • 出版日期：
    2019-02-01
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内容介绍
本书共分为上下两篇，上篇为基础设计篇．主要介绍VILSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等；下篇为制造工艺篇，主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。
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