《高灵敏及高分辨KPFM及其相关技术/纳米光子学丛书》从NC-AFM/KPFM基本原理、仪器构成以及在典型材料表面的超高分辨率测量等方面对相关内容进行了深度分析,有望对扫描探针技术在精密测量物理领域的基本常数高精度测量提供更为精准的工具和方法。
《高灵敏及高分辨KPFM及其相关技术/纳米光子学丛书》主要总结了作者近年来在超高真空非接触式原子力显微镜(UHV-NC-AFM)和开尔文探针力显微镜(KPFM)方向的科研成果,以及相关技术的开发和应用。
《高灵敏及高分辨KPFM及其相关技术/纳米光子学丛书》介绍了AFM、KPFM及其相关技术的原理、成像特点以及应用范围;重点介绍了常温/低温AFM、KPFM等仪器关键技术及搭建难点,及运用上述仪器取得的典型成果;并介绍了极端环境(超低温、超高真空)下AFM在氧化物表面的探针修饰、原子识别技术成果;针对在KPFM测量过程中出现的杂散电容效应及幻影力作用,提出了抑制上述两种效应的外差调幅KPFM、无反馈KPFM方法,并给出了这两种方法的原理及实验效果。
《高灵敏及高分辨KPFM及其相关技术/纳米光子学丛书》可作为仪器学科、表面科学以及测量专业本科生和研究生相应课程的参考书,也可供相关领域的专业人员参考使用。
Chapter 1 Introduction
1.1 Preface
1.1.2 Surface Charge
1.1.4 Artifact Induced in The KPFM
1.3 0utline
Chapter 2 Theory of Noncontact Atomic-Force Microscopy
2.1 Preface
2.2 Atomic-Force Microscopy
2.2.4 Principle of The Cantilever
2.3 Applications of SPM in Micro Measurements/Nano
2.3.2 Microelectronics/Nanoelectronics
2.3.4 Manipulation and Spectroscopy
Chapter 3 Kelvin Probe Force Microscopy
3.2 Amplitude Modulation and Frequency Modulation
3.3 Minimum Detectable Contact Potential Difference in AM-and FM-KPFMs
3.4 KPFM in Electrostatic Force Measurements
3.5 Conclusion
Chapter 4 NC-AFM/KPFM Equipment
4.1 Preface
4.3.2 Fiber and Sample Approach Stages
4.3.3 Tube Scanner
4.3.4 Cantilever and Sample Holders
4.3.5 Vibration Isolation System
4.4.1 0ptical Interference Theory
4.4.2 Interferometer Detection
4.5 W-Sputteringlnstrument
……
Chapter 5 Atomic Resolution on Cu(ll0)-0 Surface with NC-AFM
Chapter 6 Clarification of Stray Capacitance Effect with Heterodyne-AM KPFM(HAM-KPEM) at Atomic Resolution
Chapter 7 Phantom Force Elimination Using FM-KPFM without
Feedback at Atomic Resolution
Appendix Ⅰ
Appendix Ⅱ
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