M.安·加里森·达林、珍妮特·L.巴斯编著的《 微纳尺度系统工程》是国际上论述系统工程方法在微 纳技术中需求、发展和应用的第一本专著，共分为4 部分。第一部分阐述了系统工程的基本概念及微纳技 术这一主线，包括微纳技术概述、系统工程简介、系 统工程过程和敏捷系统工程；第二部分讲述了微纳技 术的研发流程，包括尺度效应概述、微机电系统 （MEMS）技术、纳米技术概述、纳机电系统（NEMS） 相关的自上而下和自下而上的纳米组装技术；第三部 分论述了系统工程过程的要素，包括建模与仿真、微 纳尺度接口、系统可靠性、测试与评估、项目的开发 与实现等；第四部分介绍了系统工程对未来微纳技术 发展的应用，包括纳米技术、生物医学微系统、自组 装技术以及对微米纳米技术的预测。本书内容新颖、 数据充实，适合微米纳米技术领域相关的MEMS、纳米 技术、微电子、光电子、传感与测控等领域研究院所 的设计师、工程师、管理者等科技人员，与高等院校 相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生以及其 他相关科技人员阅读。

第1部分 系统工程方法 第1章 微米纳米技术中的系统工程 1.1 引言 1.2 微米纳米技术是什么？ 1.3 微米纳米技术中系统的特征 1.4 系统工程的形式需求 1.5 常见术语及分类 1.6 本书内容概述及主要作者简介 1.7 小结 参考文献 第2章 系统工程简介 2.1 引言 2.2 生命周期模型及系统工程方法学 2.2.1 瀑布图介绍 2.3 系统工程支持过程 2.3.1 配置管理 2.3.2 风险管理 2.4 其他系统工程方法 2.5 系统工程师的成长 参考文献 第3章 技术开发阶段的系统工程 3.1 引言 3.2 技术成熟度评估 3.3 新技术的风险消减和系统开发方法 3.3.1 瀑布式系统开发 3.3.2 敏捷开发 3.4 未成熟技术的风险评估 3.5 总结 参考文献 第4章 敏捷系统工程 4.1 引言 4.2 经典方法和瀑布方法回顾 4.3 敏捷方法 4.3.1 敏捷方法范例 4.4 半敏捷方法 4.4.1 螺旋开发 4.4.2 滚动开发 4.5 瀑布模型和敏捷方法的应用性比较 4.5.1 铁三角 4.6 没有被敏捷方法明确强调的因素 4.7 比较经典方法和敏捷方法的重要问题 4.8 应用于微米纳米技术的敏捷方法 4.9 自下而上方法和短时间框架 4.10 进化的开发与测试 4.11 交流和小组 4.11.1 和客户进行互动 4.12 结论 参考文献 第2部分 技术开发流程 第5章 尺度效应 5.1 引言 5.2 微纳尺度的机械影响 5.3 表面应力 5.4 卡西米尔力 5.5 材料性质方面的纳米效应 5.6 流体学尺度 5.7 量子效应 5.8 结论 参考文献 第6章 微机电系统——系统工程过渡到纳米世界 …… 第7章 纳米技术概述 第8章 纳米系统——自上而下制造 第9章 纳米系统——自下而上组装 第3部分 系统工程处理单元 第10章 微观世界的建模与仿真 第11章 微纳尺度下的接口 第12章 系统可靠性 第13章 从超大规模集成电路到微米纳米技术的测试与评估技术的新进展 第14章 稳健的微米纳米技术项目的开发与实现 第4部分 系统工程应用——面向未来 第15章 下一代纳米技术 第16章 生物医学微系统 第17章 自组装系统的稳定性和不确定度 第18章 机械演化在微米纳米技术未来预测中的作用 内容简介