一、表面化学分析词汇
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇
二、表面化学分析电子能谱
GB/T 19500-2004 X射线光电子能谱分析方法通则
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
GB/T 25185-2010 表面化学分析 X射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告
GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法
GB/T 25187-2010 表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述
GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则
GB/T 28893-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 28633-2012 表面化学分析 X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性
GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定
GB/T 28892-2012 表面化学分析 X射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述
GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪元素和化学态分析用能量标校准
GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性
GB/T 30704-2014 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南
GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
GB/Z 32494-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析
GB/Z 32490-2016 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序
GB/T 32998-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法
GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
GB/T 36504-2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱
GB/T 36533-2018 硅酸盐中微颗粒铁的化学态测定 俄歇电子能谱法
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
GB/T 41072-2021 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
三、表面化学分析 扫描探针显微镜
GB/T 40128-2021 表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法
四、表面化学分析 X射线反射和X射线荧光分析
GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光谱法（TXRF）测定
GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
五、表面化学分析 纳米材料表征浅胡国学
GB/T 33498-2017 表面化学分析 纳米结构材料表征
（共计32项国家标准，按标准体系排序）
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