1 引论
1.1 真空及其特点
1.2 真空泵性能的表示法
1.3 真空泵的分类
1.4 真空泵的技术术语、用途和使用范围
1.5 真空泵的型号及规格表示法
2 液环式真空泵
2.1 液环泵的工作原理及特点
2.2 液环泵的基本类型与结构
2.3 液环泵的设计计算
2.4 液环泵的计算实例
2.5 液环泵的使用与注意事项
3 往复式真空泵
3.1 概述
3.2 往复泵的结构和工作原理
3.3 往复泵的主要性能参数
3.4 往复泵气阀的设计
3.5 往复泵设计中的几个问题
4 旋片式油封机械泵
4.1 概述
4.2 旋片泵的工作原理与结构特点
4.3 性能参数及主要几何尺寸的确定
4.4 气镇量的计算
4.5 旋片泵的运行和维护
5 滑阀式油封机械泵
5.1 概述
5.2 滑阀泵的工作原理和结构特点
5.3 滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定
5.4 滑阀泵的质量平衡与减振
5.5 机械泵油
6 罗茨式真空泵
6.1 概述
6.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点
6.3 罗茨泵的主要参数确定
6.4 罗茨泵的转子型线
6.5 抽气速率的计算方法
6.6 罗茨泵的主要尺寸的确定
6.7 罗茨泵的计算举例
7 爪式真空泵
7.1 概述
7.2 爪式泵的工作原理
7.3 爪式泵转子的理论型线
7.4 爪式泵几何抽速的计算
7.5 爪型转子质心的计算
7.6 爪式泵的性能及结构特点
7.7 爪式泵的特点
8 涡旋式真空泵
8.1 概论
8.2 涡旋泵的工作原理
8.3 涡旋泵抽气性能的计算
8.4 密封部位的泄漏量
8.5 涡旋泵的主要性能参数
9 分子真空泵
9.1 概述
9.2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点
9.3 多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理
9.4 涡轮分子泵的抽气原理及结构特点
9.5 涡轮分子泵抽气性能的计算
10 水喷射泵
10.1 概述
10.2 水喷射泵的工作原理与结构
10.3 水喷射泵的设计与计算方法
10.4 水喷射泵的安装形式
11 蒸汽喷射泵
11.1 概述
11.2 蒸汽喷射泵的工作原理
11.3 蒸汽喷射泵的结构与组成
11.4 蒸汽喷射泵的安装形式
11.5 蒸汽喷射泵的设计计算
11.6 蒸汽喷射泵抽气时间的计算
12 油扩散泵
12.1 概述
12.2 油扩散泵的工作原理
12.3 油扩散泵的结构特点
12.4 油扩散泵的性能参数
12.5 扩散泵油的特性及返油
12.6 扩散泵系统使用中的故障分析及处理
13 油扩散喷射泵
13.1 概述
13.2 油扩散喷射泵的工作原理与结构特点
13.3 油扩散喷射泵的抽气特性
13.4 增压泵油及降低返油的措施
14 低温泵
14.1 概述
14.2 低温泵的抽气原理和分类
14.3 低温泵的抽速
14.4 低温泵的极限压力
14.5 低温泵的其他参数
14.6 现代低温泵的结构及设计
15 溅射离子泵
15.1 概述
15.2 溅射离子泵的工作原理
15.3 溅射离子泵的设计
15.4 溅射离子泵的使用与维护
16 其他类型真空泵
16.1 分子筛吸附泵
16.2 钛升华泵
16.3 电离升华泵
16.4 非蒸散型吸气泵
17 真空泵流量的测量方法
17.1 流量喷嘴法
17.2 转子流量计法
17.3 定容法
17.4 定压法
17.5 压差法
参考文献
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